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　　公開（公告）號(hào)：CN201018960 公開（公告）日：2008.02.13

　　主分類號(hào)：A41D1/00（2006.01）

　　分類號(hào)：A41D1/00（2006.01）；A61B5/02（2006.01）

　　申請(qǐng)（專利權(quán)）人：華中科技大學(xué)

　　地址：430074湖北省武漢市洪山區(qū)珞喻路1037號(hào)

　　國(guó)省代碼：湖北；42

　　發(fā)明（設(shè)計(jì)）人：劉勝；張鴻海；蒙茂洲；徐涌；甘志銀

　　專利代理機(jī)構(gòu)：華中科技大學(xué)專利中心

　　代理人：曹葆青

　　摘要：本實(shí)用新型公開了一種基于MEMS的智能服裝，可用于采集心電、心音等人體生理參數(shù)，該智能服裝的功能是通過(guò)將柔性傳感器陣列薄膜與紡織品整合的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)的：首先，在晶圓上采用MEMS技術(shù)分別制作出聲/電換能器及其電氣互聯(lián)結(jié)構(gòu)。其次，在晶圓的反面刻蝕出硅島圖形，使得每個(gè)傳感器之間相互孤立。再次，在晶圓的正反面旋涂上聚合物，并對(duì)其進(jìn)行光刻圖形化出傳感器窗口以及縫紉孔，即得到柔性傳感器陣列薄膜。聚合物起到對(duì)傳感器的保護(hù)作用，縫紉孔可用于讓導(dǎo)電纖維將傳感器傳感器陣列薄膜與紡織品縫合于一體，即得到有特定功能的智能服裝。本實(shí)用新型采用MEMS制作工藝，重復(fù)性好，可靠性高，可大批量制造，成本較低，具有廣泛的應(yīng)用前景。

　　主權(quán)項(xiàng)：一種基于MEMS的智能服裝，其特征在于：該智能服裝上設(shè)置有柔性傳感器陣列，該柔性傳感器陣列包括柔性襯底（1）、若干個(gè)硅島（2）和聲/電換能器（3），柔性襯底（1）分為上柔性襯底（1a）和下柔性襯底（1b），硅島（2）和聲/電換能器（3）呈陣列式分布設(shè)置在柔性襯底（1a）和下柔性襯底（1b）之間，硅島（2）與聲/電換能器（3）通過(guò)金屬線路（5）實(shí)現(xiàn)電氣互聯(lián)，各硅島（2）和聲/電換能器（3）的四周均設(shè)置有縫紉孔（4），導(dǎo)電纖維（6）穿過(guò)縫紉孔（4）將柔性傳感器陣列薄膜與紡織品（8）縫合于一體；硅島（2）的結(jié)構(gòu)為：硅基底（19）上開有焊盤（9），焊盤（9）的引出線與金屬線路（5）的一端相連，導(dǎo)電纖維（6）與焊盤（9）之間點(diǎn)膠有導(dǎo)電膠（7）；聲/電換能器（3）的結(jié)構(gòu)為：硅基底（18）上開有空腔（10），空腔（10）上面設(shè)置有懸臂梁（11），懸臂梁（11）由下述薄膜層依次疊置構(gòu)成：支撐層（12）、粘結(jié)材料層（13）、下電極（14）、聲/電換能材料層（15）、吸聲材料層（16）和上電極（17），其中，下電極（14）和上電極（17）構(gòu)成金屬線路（5）。